洁净棚日常维护还需要注意哪些细节？

在洁净棚的日常维护中，除了基础的组件保养和系统管理外，还有许多容易被忽视的细节，这些细节对维持洁净度、设备稳定性及人员操作规范至关重要。以下从环境控制、人员操作、特殊场景等维度补充关键细节：

一、洁净棚内微环境细节管理

气流组织优化

定期检查高效过滤器出风口的匀流膜（扩散板）是否积尘或堵塞，用无尘布蘸酒精擦拭表面，避免气流不均导致局部洁净度下降。

严禁在洁净棚内堆放杂物（如工具、耗材），保持工作区下方离地面至少 50cm 的空间，防止阻挡回风口气流。

温湿度精细控制

注意加湿器水箱的清洁（每周用 3% 过氧化氢溶液浸泡 30 分钟，防止微生物滋生），若为电极式加湿器，每季度更换电极棒以避免结垢影响加湿效率。

当温湿度波动超过设定值（如温度 ±1℃、湿度 ±3% RH）时，需检查空调机组表冷器是否结垢、加湿器喷口是否堵塞。

静电控制细节

每日用静电测试仪检测工作台面、地面的静电值（目标值≤10^9Ω），若超标需检查接地线是否松动（接地电阻应≤1Ω），或更换防静电台垫。

禁止在洁净棚内使用化纤材质的物品（如抹布、文件袋），所有工具需选用防静电版本（如防静电镊子、螺丝刀）。

二、人员操作规范与细节

进出流程细化

风淋室使用时，需确保喷嘴出风口风速≥25m/s（可定期用风速仪检测），人员在风淋室内应转动身体 360°，吹淋时间不足时严禁强行开门。

传递窗两侧门需互锁（若为手动门，需张贴 “禁止同时开启” 标识），传递物品时需先关闭外侧门，经紫外灯照射 30 分钟后（如设定）再开启内侧门。

作业行为管控

操作人员在洁净棚内动作需轻柔，避免快速走动或挥手（实验数据表明，快速动作可使尘埃粒子数瞬间增加 30%），必要时使用无尘帘隔离操作区。

禁止在洁净棚内饮水、饮食或使用化妆品，防止微尘与微生物污染，临时离开后重新进入需再次更衣、风淋。

三、特殊组件与耗材维护细节

FFU（风机过滤单元）维护

每月通过 FFU 控制面板查看风机转速是否稳定（允许 ±5% 波动），若转速异常降低，可能是过滤器阻力过大或电机轴承磨损，需及时排查。

对于吊顶式 FFU，每季度检查吊装螺栓是否松动（尤其在频繁启停后），防止设备坠落风险，同时清理 FFU 顶部与天花板之间的积尘。

高效过滤器密封细节

更换高效过滤器后，需用荧光检漏仪检测边框密封胶是否有漏点（在暗环境下观察，漏光处需补涂密封胶），或用气溶胶发生器配合粒子计数器扫描边缘，确保泄漏率≤0.01%。

地漏与排水系统

洁净棚内若设有地漏，需每日检查水封是否有效（水封高度≥50mm），每周倒入消毒水（如次氯酸钠溶液）防止异味与微生物滋生，盖板需保持密封状态。

四、环境监测与记录细节

监测设备校准与摆放

尘埃粒子计数器的采样口需固定在工作区高度（距地面 0.8-1.2m），避免贴近墙面或设备，采样时保持采样管垂直，防止气流干扰数据。

所有监测仪器（如压差表、温湿度计）需贴有校准标签，校准周期不超过 1 年，若发现数据异常（如压差表指针抖动），需立即用标准表比对。

数据记录与趋势分析

维护台账需记录每日 3 次（早、中、晚）的关键参数（如风速、压差、粒子数），并用折线图绘制趋势，若连续 3 天数据呈上升趋势（如粒子数增加 20%），需提前安排过滤器检查。

特别注意节假日或长期停机后的重启数据，开机后需运行 30 分钟以上再检测洁净度，避免初始气流不稳定导致误判。

五、应急与特殊场景处理细节

突发污染应对

若发生液体泄漏（如试剂、溶剂），需立即用无尘吸附棉覆盖吸附，再用 75% 酒精或专用消毒剂（如季铵盐类）擦拭地面及周边区域，污染面积超过 1㎡时需记录并追踪后续洁净度变化。

发现微生物超标（如浮游菌＞100CFU/m³），需使用汽化过氧化氢发生器进行空间灭菌（浓度≥600ppm，作用时间≥2 小时），灭菌后需通风 4 小时以上再进入。

停机与重启管理

短期停机（＜24 小时）时，风机需保持低速运行（维持微正压），避免外界灰尘倒灌；长期停机（＞72 小时）前，需彻底清洁内部并关闭所有风门，重启时需先更换初、中效过滤器。

六、行业特殊要求细节

医药行业：洁净棚内使用的消毒剂需交替使用（如酒精与碘伏每月轮换），避免微生物产生耐药性；称量间需额外检查层流罩的垂直风速（应维持 0.36-0.54m/s）。

半导体行业：禁止使用含硅（Si）的清洁剂，防止硅氧烷挥发污染晶圆；维护工具需经离子风枪吹淋后再带入，避免静电吸附微尘。

七、供应商与第三方协作细节

与过滤器供应商签订年度维护协议，要求提供过滤器阻力 - 使用时间的预测模型，提前备货易损件（如初效过滤器季度用量的 1.5 倍）。

每年邀请第三方检测机构进行动态洁净度认证（如 ISO 14644-1 检测），检测报告需归档保存，作为合规性审核依据。

通过关注上述细节，可将洁净棚的维护从 “被动维修” 转为 “主动预防”，尤其在半导体、医药等高要求领域，细节管理直接影响产品良率与合规性。建议制定《洁净棚维护 checklist》，将细节要点转化为可执行的检查项，确保维护工作无遗漏。